日本エコサイエンス株式会社

粉体除去でお困りなら ECO-TRAPPER 粉体除去機器 / 低コストをお望みなら ECO-SCRUBBER 排ガス除害装置

	AP-CVD/R-101
	PE-CVD/TEOS/ R-101
	LP-CVD/ R-301
	Metal Etcher/ R-401
	D/Ech＋エレメント交換
	Implant＋エレメント交換
	CVD＋乾式除害剤交換
	D/Ech＋乾式薬剤交換

line up.pdf へのリンク

排気側に適用するECO-TRAPPERは、R-101,R-301,R-401の三機種をラインアップしています。用途に合わせてベストチョイスできます。
R-101は、スタンドアローンタイプです。粉体生成量の多いAP-CVDのほか、PE-CVDやLP-CVDなどに最適です。

ECO-TRAPPER MINI R-301は、設置スペースが限られたCVDやメタルエッチャー、アルミエッチャー等のドライポンプの後段直近への設置に最適です。

ECO-TRAPPER PEN R-401は、排気配管パーツの重要構成品の一つとしてご採用ください。圧力損失を上昇させずに粉体を確実に捕獲します。

ECO-TRAPPER R-303は、ＦＰＤや太陽熱電池などの大排気量・大量粉体に対応します。

			【R-101 構造略図】
排気配管の閉塞対策、乾式除害装置のリアクター（吸着筒）薬剤の寿命延伸化、熱分解・燃焼式除害装置の装置内閉塞対策などに劇的な効果をお約束できます。後段の除害装置の負荷を最大50％低減することによりメンテナンス費用も半減します。また、装置をダウンさせることなく小メンテを短時間で終了させることが出来ます。本装置エコトラッパー･セパレータータンク内に流入した排気ガスは、ドラムフィルター外側から内側へ通過し、アウトポートから後段の除害装置へと導かれます。ドラムフィルター面に付着した副生成物により圧力損失が高まっていきます。任意に設定された圧力損失（工場出荷時設定　9kPa）に達するとモーター駆動によりドラムフィルターを回転運動させ、固定ブラシにより粉体が掻き落されます。円筒フィルター面に付着していた粉体が除去されることにより圧力損失は、正常圧に復帰します。底部の粉体溜りにに堆積した粉体は、随時にユーザー既設のセントラルバキュームを使用して下部のサクションポートからバキュームクリーナーにより繰り返し吸引除去することができます。ドラムフィルターの耐久性はシランで1年間、ＴＥＯＳで2～6か月間の耐久性を有しています。

【R-101&303　基本仕様】
ECO-TRAPPER	型式	R-101	R-303
ECO-TRAPPER	用途	半導体	ＦＰD、太陽電池
セパレーター	タンク	シングル	ラージ・シングル
セパレーター	切替ライン	シングル	ダブル
運転制御	モード	自動運転/手動運転	自動運転/手動運転
バルブ形式	バイパス	オート	オート
	メイン/ＩＮ	マニュアル	オート
	メイン/ＯＵＴ	マニュアル	オート
	ライン切替	―	オート
円筒フィルター	回転トリガー	オート/マニュアル	オート/マニュアル
Ｎ２パージ	流量計　50Ｌ	標準装備	標準装備
ドライエアー	流量計　50Ｌ	標準装備	標準装備
熱電対	トラッパータンク内	標準設定	標準設定
ＯＰＴＩＯＮ	遠隔表示盤	設定	設定

CVD用粉体除去装置として定評のエコトラッパーR-101の基礎技術をベースにして比較的粉体生成量の少ないＣＶＤやメタルエッチャー用としてラウンドブラシ式エコトラッパー　ミニを製品化しました。

エコトラッパー　ミニ　R-301は、設置スペースに限られた既存ラインにもマッチします。

ラウンドブラシ式は、固定された円筒フィルターの外周を回転して、円筒フィルター表面に生成した粉体を掻き落します。エコトラッパー　ミニの円筒フィルターは、三層構造になっており、最外周層は、粉体剥離性に優れており、ラウンドブラシと相まって圧力損失を低減して適性値に保持します。掻き落された粉体は、底部に設けられた粉体溜り部に堆積します。サクションポートからバキュームクリーナーを使用して繰り返し吸引クリーニングすることができます。円筒フィルターは、SiO2粉体の場合で1回／年の標準再生頻度となります。

【R-301 構造略図】